hsp-100/150/200/300/200sc/300sc半自动探针台
4\'\', 6\'\', 8\'\', 12\'\' 半自动探针台，8\'\', 12\'\' 半自动高低温探针台
01hsp半自动探针台
hsp-100 可测4’’晶圆
hsp-150 可测6’’晶圆
hsp-200  可测8’’晶圆
hsp-300  可测12’’晶圆
hsp-200sc 高低温 可测8’’晶圆
hsp-300sc 高低温 可测12’’晶圆
设备装配有高精度x-y-z-θ四维闭环操作样品台，具有非常好的高精度定位和可重复性。
这款探针台系统确保探针可靠接触。
此款探针台系统支持高温样品座，温度从20℃到300℃，或-60℃~300℃。
此款探针台系统可支持高电流和高电压选项。
02hsp探针台应用
应用：
超低信号i-v测量（fa级）
各种c-v测量（准静态c-v, hf-cv，rf-cv）[sub pf级]
rf测量（到67ghz）/s参数测量
超高速i-v测量
扩展应用：
支持探卡（支持多点位晶圆可靠性测试wlr）
可加激光切割（点标记，保护层剥离，金属层切割）
有效隔离振动和超高精度影像识别（精度： ±1 um或更好）
光电子中光接收/发散特性评估应用（如：led，ld，vcsel，pd）
高功率元器件测量（200a脉冲，+/-3kv三轴,+/-10kv同轴）
晶圆的可靠性测试（如：em，tddb，hci，nbti，bt）
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hsp半自动探针台
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探针台照片
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hsp半自动探针台技术指标
1wafer尺寸：4\'\' 6\'\' 8\'\' 12\'\'2室温~300℃，-60℃~300℃3x-y重复性：<+/-2um4x-y精度：<+/-5um4   4  x-y轴精度：<+/-5um5z轴行程：20mm6旋z轴可重复性：<+/-1um7旋转角度：+/-7.5°8旋转角度可重复性：0.002°9
hsp半自动探针台软件
⊙随机资料清单
⊙安装、调试

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