技术参数
    x射线光电子能谱仪180°半球能量分析器        能量范围：0～5,000 ev
    al kα单色化xps              mg/al双阳极xps 
  x射线束斑面积从900 μm到200 μm连续可调；
  大束斑：ag3d5/2（fwhm＝0.50ev）强度≥400 kcps；20 µm束斑 ：ag3d5/2（fwhm＝0.45 ev）强度≥0.5 kcps；
  大束斑：ag3d5/2（fwhm＝0.8 ev）强度大于650 kcps；
  对ag3d5/2线扫描的空间分辨率优于3 μm；
应用范围
     1）  x射线光电子能谱仪物质定性分析：根据测得的光电子动能可确定材料表面存在哪些元素，灵敏度(0.1at%)；
   2）  物质定量分析：根据某种能量的光 电子的强度确定元素在其表面的含量，误差20%左右；
   3） 元素化学态分析：根据某元素光电子动能的位移可了解元素所处的化学状态。
主要功能
    测量物体表面3-5 nm内的元素成分及价态；定性分析；定量分析；元素价态分析；离子刻蚀分析
寄送样品须干燥处理；样品须是粉末或是小于4 mm的块状颗粒。如进行价态分析须注明窄扫元素；如进行半定量分析须注明半定量元素；元素含量仅供参考如需精确定量请选择其它检测项目；如需刻蚀需注明刻蚀的厚度及次数；寄送样品质量大于50 mg。

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