美国setra760高精度真空计
美国setra760高精度真空计 产品详情
▲适用于与inconel® 或 inconel/ 不锈钢相容的气体
▲压力范围：0~10 torr 至0~1000torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介绍
setra model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从10torr 到1000torr。测量单位可以是torr，mbar/hpa，kpa 或psia。model 760 的工作电压是15vdc，输出0~10vdc 或0~5vdc，输出与压力成线性关系，而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15 针d 型插座或6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和esd 抑制元件以及输入输出的rfi 过滤等技术，model 760 具有的emi/rfi 性能。model 760 有一个完整的滑面，很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外可提供不同类型的压力和真空接头。model 760 中高精度的压力传感元件vactronsensor，是在setra 技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件*有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被setra 独特的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特技术负荷平衡原理设计的。model 760 采用革新的传感设计获得了的零点稳定性和大气压非敏感性。model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。
注：setra 坚持严格的质量标准ansi-z540-1。此产品的标定源于nist。
应用
● 半导体过程工具和装置
● 实验室和研究开发
● 实验和测量
● 度量
● 分析化学系统
特点
■ 的热稳定性
■ 出众的emi/rfi 性能
■ 低价位
■ 小巧紧凑的结构
■ 耐腐蚀的inconel® 湿部件
■ 多种压力连接和电气连接方式
■ 符合ce 标准
性能参数
物理参数
电气电压(电压)
精度a
±0.25%of reading
壳体
铝合金
电路
4线
精度b
±0.15%of reading
电气连接
15针d型插座或
6位螺纹接线端子
激励
±15vdc,调整范围5%
输出2
0～10vdc或0～5vdc
温度影响
压力接头
见订购信息
功耗
﹤0.5w(﹤15ma)
补偿范围
0～+50℃(+32～+122℉)
腔体体积
﹤6cm3
零点偏移
±0.005%fs/℃
零点/满量程调节
多匝点位计
(在画面底部)
压力介质
与inconel或inconev不锈钢相容的气体。inconel湿部件仅配0.5管的节头,选择其他的
接头增加不锈钢.
满程偏移
±0.02
重量
260克(约9盎司)
分辨率
无限的,仅受输出噪声的限制(0.01%fs)
环境参数
温度
1.工作温度的限制仅对电子元件而言,压力介质温度可以更高或更低.
2.采用50k的负载进行标定,可接10000或更大的负载。
耐压
45psia
工作温度1
0～+50℃
时间常数
﹤20ms
储存温度
-50～+125℃