真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数：
管路数：1-3管
★口径：φ100mm -φ350mm （用户自定义
★工作方式：共用一套加热体，a、b、c管交替工作
★工作温度：300-1000℃
★恒温区400mm-1000mm±3℃
★冷态真空度：5χ10-4pa
★真空系统：机械泵+k300扩散泵★阀门：φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热
★功率：47kw
★真空计：复合数字表
★充气种类：n2、ar、h2
★控制系统全自动、手动
青岛育豪微电子设备有限公司
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中国 青岛