仪器特点
◆ 超精密全自动测量，四轴cnc控制；
◆ 精密花岗岩机台，精度高、稳定性好；
◆ 三轴thk精密直线导轨、精密传动系统；
◆ renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好；
◆ tztek自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量；
◆ 程控式6环8区环形表面光源，led轮廓光源，同轴光源；
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头；
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432、542等。
技术参数
型号 vmu222
vmu322
vmu432
vmu542
行程(mm)
200×200×200
300×200×200
400×300×200
500×400×200
外部尺寸(mm)
1040×740×1620
1040×740×1620
1240×800×1620
1440×1000×1680
重量(kg)
240
250
310
400
承重(kg)
25
25
25
25
测量精度
xy轴*
e2=(1.5+l/300)μm
e2=(1.9+l/300)μm
z轴**
e1=(5.0+l/200)μm
速度
xy轴
200mm/s
z轴
100mm/s
光栅尺
0.1μm renishaw光栅尺
导轨 thk
图像传感器
高清晰彩色专用工业摄像机
光源
轮廓光
led冷光源，256级亮度可调
表面光
6环8区led冷光源，各段独立操控，256级亮度可调
同轴光
led冷光源，256级亮度可调
光学镜头
 12.5:1连续变倍
放大倍率*** 光学放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230×
软件
vispec测量软件（vmu版）
运动控制
自主专利的cnc直流伺服系统
保修期
1年
工作环境
温度20℃±2℃，温度变化<2℃/hr，湿度30～80%
振动<0.002g，低于15hz
电源
220v/50hz/10a
*  l表示测量长度，以毫米为单位。
**  z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。
***放大倍率为近似值，具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关；客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜，实现影像放大倍率9～115×或36～460×。
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应用行业
         机械、电子、模具、注塑、五金、橡胶、低压电器，磁性材料、精密五金、精密冲压、接插件、连接器、端子、手机、家电、计算机（电脑）、液晶电视(lcd)、印刷电路板（线路板、pcb）、汽车、医疗器械、钟表、仪器仪表等。
测量对象
         lcd、fpc、pcb、线路板、螺丝、弹簧、钟表、手表、仪表、接插件（连接器、接线端子）、齿轮、凸轮、螺纹、半径样板、螺纹样板、电线电缆、刀具、轴承、五金件、冲压件、筛网、试验筛、水泥筛、网板（钢网、smt模板）等。
测量元素
         长度、宽度、高度、孔距、间距、pin间距、厚度、圆弧、直径、半径、槽、角度、r角等。

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