111
海德创业（北京）生物科技有限公司111
海德创业（北京）生物科技有限公司成立十余年来，经公司全体员工不懈努力、进取和广大用户的支持理解，在生命科学、材料科学领域都获得了长足的发展和进步，与众多的高校和研究所建立了良好的合作关系。展望未来，我们会继续本着“优质的服务是公司的根本”这一信条，不骄不躁，继续前行。您的成功，我们的期待！
又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪，ems650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，最佳的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得精确的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，ems650和ems 250镀碳配件通用；ems 650可控制独立的真空泵。下图示ems 650。ems650t是在ems650基础上加装了一个功率为60l/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。
性能特征：
全自动控制
低能冷却系统（（功率是6w）
低电压溅射（100v，dc;每分钟温度升高不到2°c）
镀膜厚度精确（2nm金粒）
精确的可重复性
镀膜厚度20nm或200a（扫描电镜）
微电子控制
三个靶台同时溅射
聚碳酸脂安全外壳
仪器参数：
仪器尺寸：
450mm(w) x 350mm(d) x 175mm(h)
工作腔室
硼硅酸盐玻璃: 225mm(dia.) x 125mm(h)
重量：
24kg
靶台：
3 x 60mm dia.x0.1mm 厚
旋转样品台：
155mm dia. 距离靶台40 to 50mm可调
真空范围：
atm 1x10-2 mbar
镀膜电流范围：
0-100ma
镀膜速率：
0-20nm/minute
溅射镀膜时间：
0-4 minutes
电源：
230 volts 50hz (最大8 amp 包括泵)
维护：
氩气 通常 4 psi
真空泵（推荐）
整套真空泵软管和油气过滤器135l/min
订购信息:
货号 产品名称 规格
91020
ems 650 sputter coater complete with targets (3) x60mm dia. x 0.1mm thick fitted inclusive as standard
台
91020t
ems 650t sputter coater
台
91025
rotary vacuum pump
个

---

海德创业（北京）生物科技有限公司
张北
15910716037
北京市回龙观