技术参数：
1.     极限真空度：5×10-5pa；
2.     pld与pvd在一个腔体内镀膜；
3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；
4.     基板加热温度：900℃；
5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；
6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。
技术参数：
1.     极限真空度：5×10-5pa；
2.     pld与pvd在一个腔体内镀膜；
3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；
4.     基板加热温度：900℃；
5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；
6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。
技术参数：
1.     极限真空度：5×10-5pa；
2.     pld与pvd在一个腔体内镀膜；
3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；
4.     基板加热温度：900℃；
5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；
6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。
技术参数：
1.     极限真空度：5×10-5pa；
2.     pld与pvd在一个腔体内镀膜；
3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；
4.     基板加热温度：900℃；
5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；
6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。
技术参数：
1.     极限真空度：5×10-5pa；
2.     pld与pvd在一个腔体内镀膜；
3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；
4.     基板加热温度：900℃；
5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；
6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。
技术参数：
1.     极限真空度：5×10-5pa；
2.     pld与pvd在一个腔体内镀膜；
3.     配有进样室及机械手磁力传动机构，在不破坏主真空室内的真空度前提下进行样品的取放；
4.     基板加热温度：900℃；
5.     配有多个观察窗，方便观察内部的运行情况；
6.     球体直径为450mm，也可根据客户要求进行定制。
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中国 北京