是否进口否	产地西安
含量≥99.999％	产品名称三氟化氮
是否危险化学品是	厂家(产地)益蓝气体
货号180621010	产品等级电子级
执行质量标准国标	CAS7783-54-2
品牌益蓝气体

氟化氮 （nf3)
项目名称
纯度指标（%）
三氟化氮
≥99.999
杂质含量（ppm)
氮气（n2）
≤1
氧气+氩气（o2+ar）
≤1
二氧化碳（co2）
≤1
一氧化碳（co)
≤1
四氟化碳（cf4) ≤10
水（h2o） ≤1
六氟化硫（sf6） ≤1
氟化氢（hf） ≤1
氧化亚氮（n2o） ≤1
包装：采用44l、47l钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8l的气瓶中。
用途：nf3是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅的蚀刻，采用nf3和cf4＋o2的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染。
理化性质: 在常温常压下 , 三氟化氮为无色、无臭、性质稳定的液化气体，高纯三氟化氮几乎没有气味，它是一种热力学稳定的氧化剂，大约在 350 ℃左右可离解成为二氟化氮和氟气，故其反应性相似于氟。
注意事项：
1.在70℃以下nf3气体对普通金属是不腐蚀的，因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料。用钢瓶和铝合金瓶充装，对气瓶每两年要检验一次。按有毒高压液化气体规定运输，国外规定可以用汽车、火车运输，不能用飞机运输。气瓶充装系数不大于0.01。
2.储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、还原剂、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

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陕西沁蓝化工科技有限公司
徐先生
13609200998
陕西 西安 雁塔区 芙蓉西路以东中海城凯旋门6号楼1002室