是否进口否	产地上海
产品等级电子级	含量99.9999％
产品名称超纯氩气	是否危险化学品是
产地/产商上海	货号18062005
执行质量标准电子工业用气标准	品牌益蓝气体
CAS7440-37-1

氩气 （ar) 
项目名称
纯度指标（%）
氩气 ≥99.9999 ≥99.999
杂质含量（ppm)
氧气（o2）
≤0.2 ≤2
水（h2o） ≤0.2 ≤4
氮气（n2） ≤0.4 ≤5
一氧化碳（co）
≤1 ≤1
二氧化碳（co2) ≤0.5 ≤1
碳氢化合物（thc）
≤0.1 ≤2
包装：采用40l、49l钢瓶充装，也可根据客户需要分装到4-10l的气瓶中。 
用途：用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、冶炼、切割、焊接等。 
理化性质: 氩气的性质非常稳定，既不能燃烧，也不助燃。氩本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险。当氩气浓度超过50%时，出现严重症状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内死亡。液氩可以伤皮肤，眼部接触可引起炎症。 
注意事项：密闭操作，提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。远离易燃、可燃物。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物分开存放，切忌混储。 一般不需特殊防护，当作业场所空气中氧气浓度低于18％时，必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。

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徐先生
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