提供各种靶材用于磁控溅射工艺制备cigs薄膜 contact : 刘丽 180-8064-4120（微信同号）
一, 四元合金靶材：cigs 靶材
1，常规原子比：1:0.7:0.3:2 或者 1:0.8:0.2:2 （客户亦可根据自身工艺制订原子比例）
技术对接：cvd合成四元合金（高精分析天平称量，各种元素的配比公差低于百万分之一）--氮气保护下研磨制粉 –hp （热压）--检验—打磨，抛光。
2，检验：icp-ms；xrd 通过icp-ms 检测杂质含量：5n的cigs 靶材的杂质元素总和小于10ppm
通过xrd衍射 ：cigs 具备闪锌黄铜矿结构。（可提供检验报告和样品）
3，靶材致密度：大于93%
4，服务：可免费提供导电玻璃和99.999%的硒粉。硒粉用于客户最后的硒化工艺，因为磁控溅射cigs的过程中有硒的流失。
5，安全防护措施：提供msds及溅射过程中的必要防护。
二，三硒化二铟（in2se3）靶材；三硒化而镓（ga2se3）靶材，硒化亚铜（cu2se），或硒化铜（cuse）靶材
技术对接：cvd 合成二元合金 – hp （热压）--检验—打磨，抛光。
三，铜镓(cuga);铜铟(cuin);铜镓铟（cugain）靶材
*配方原子比例：客户可自选，我方亦可以提供常规原子比例。
四，铜（cu）靶；铟(in)靶，硒(se)靶
技术对接：浇铸
五，cigs 配套靶材
n型：硫化镉(cds )靶,硫化锌（zns）靶，硒化锌（znse）靶 。
氧化锌铝（azo）靶 ,钼（mo）靶
1，由于硫化镉有毒，所以硫化锌，硒化锌靶为其替代品。试验表明硒化铟也有此属性。
2，硫化镉，硫化锌，硒化锌制备工艺：cvd 高纯氩气携带金属蒸汽（镉，锌蒸汽）进入反应室与过量的h2s,h2se 气体气相沉积而成。

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乐山凯亚达光电科技有限公司
刘女士
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新场镇红旗村