cl-6中端探针台森东宝科技cl-6超高性比晶圆测试探针台气敏分析检测探针台特点
同轴驱动chuck
可以升级做射频测试
20x~4000x 光学显微放大
无后座力移动
可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置
规格
真空吸附型chuck
6 不锈钢
chuck x-y轴行程
6 x6
chuck 旋转角度
0~360 度
chuck升降
4mm
针座平台
可以放置8个针座
显微镜x-y轴行程
2 x2
需求
电力
220 vac, 60hz
真空
-250 mmhg, 7 liter/min
尺寸
920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜)
重 100 kg(带显微镜)
可选附件
激光切割
探针卡夹具
加热台
高低温样品台
防震桌
显微镜气动升降装置
显微镜暗场 / dic/normarski 检测
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试
ccd视频系统
液晶漏电分析套装
黑箱
大电流测试套件
镀金chuck
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如需订购探针测试台，激光修复仪，显微镜欢迎来电洽谈业务，，aldrich8@foxmail.com 森东宝科技王先生。

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