产品简介       气体质量流量控制器（mfc）和气体质量流量计（mfm）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、cvd、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。     cs200-a,c,d型mfc/ mfm是七星电子生产的数字型产品，为气体质量流量的控制、测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0～5v模拟信号，4～20ma或0~20ma模拟信号，可以使用双电源（±8～±16 vdc）或单电源（+14～+28 vdc）。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件digital mfc。cs200-c与cs200-d产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中cs200-c金属表面符合semi标准的要求。 cs200-a,c,d mfc默认配置为： mac地址：32； rs485通信波特率:19200；控制方式：0～5v电压控制。更多细节请参考产品附带光盘中的“cs系列mfc通讯协议”。  cs200数字式气体质量流量控制器
产品型号：cs200c
产品系列：cs系列数字式质量流量控制器
产品类型：高精度型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰
联系电话：0371-60308298
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联系人：李工
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