vega 3 easyprobe是值得信赖的一款sem/eds一体机。
sem技术参数：
1.分辨率:高真空(se)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv 2.放大倍数:4.5 to 1000000× 3.真空系统:高真空
eds技术参数：
分辨率： 133ev(mn kα) at 100,000cps 探头类型： xflash tm detector 410 m, 有效面积 10mm2 探头窗口： slew，探测元素从b(5)到am(95) 探头冷却： peltier couple (无需液氮) 最大输入计数率： 150kcps 定量： 无标样 pb-zaf
主要特点：
vega 3 easysem可以触摸屏进行控制和操作，具有所有图像操作和处理功能以及一键式edx分析工具栏。 当一键式edx工具被激活时，系统显示实时sem图片上选定区域的定量分析结果。系统根据用户的技能水平可分为3个等级对电镜进行控制。电镜的所有功能都由触摸屏或键盘，鼠标和轨迹球或者选配的控制台通过window?平台上的vegatc软件控制。

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