- 加工定制：是
- 品牌：科探仪器设备
- 型号：质量流量计
- 类型：质量流量计
- 测量范围：2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,
- 精度等级：±0.2% FS
- 公称通径：详询
- 适用介质：气体
- 工作压力：详询
- 工作温度：5-45
- 规格：详询
高精度快速响应质量流量控制仪 质量流量计 高品质量流量cvd配件
用途和特点
质量流量计(mass flow meter缩写为mfm)用于对气体的质量流量进行精密测量；质
量流量控制器(mass flow controller缩写为mfc)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、cvd、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
d07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制
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