- 加工定制：
- 品牌：法国品牌
- 型号：无
- 产品适用范围：直流磁控溅射镀膜系统——DC magnetron sputtering-金属膜-溅射镀膜-MEMS
- 测量范围：
- 电源：
- 工作电压：
- 外形尺寸：
- 重量：
磁控溅射镀膜系统可在导体或绝缘体上溅射任何薄膜，典型用户例如格拉斯哥大学，若有兴趣，欢迎联系我们！
气路：ar气路配搭mfc
阴极：3个4英寸直流磁控管，一个加强磁控管用于nii，一个6英寸磁控源
靶材： al, ti, cr, ni, cu, au, nb, w, pd, pt, mo
直流电源：200ma-1a（1千瓦功率）
衬底偏置：离子刻蚀20-250w（rf ）
样品台：可接纳4个4英寸衬底，衬底可旋转
真空泵：前级泵+低温泵
全自动、半自动、手动模式
支持远程维护和操作
上海续波光电技术有限公司
肖先生
15502170017
上海市普陀区中江路106号北岸长风I楼1507号