化学气相沉积系统 智能供气cvd 实验室小型cvd系统 真空管式炉
产品用途：
       气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.
 
1.半导体制造行业中气体流量控制
2.各种真空镀膜设备
3.特种材料表面处理
4.气体燃烧控制
5.混和配气系统
6.泄漏探测系统
7.环境检测与分析设备
8.分析仪器的气体流量计量与控制
9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所
技术资料;
 
产品型号
kt-c3z
产品类型
高精度型/快速响应型/智能控制 触摸屏控制
可选量程
20sccm-10slm
产品精度
±1％f.s
重复精度
±0.2% f.s
线性
±1% f.s.
响应时间
≤4sec
工作温度范围
(5~45)°c
供电电源
~85-265vac 50/60hz
*功耗
40w
进气口压
≤0.6mpa
连接管道
φ4-6mm316不锈钢管道
截止阀类型
电磁阀
单向阀开启压力
0.02mpa
 
 
压力显示量程
 
控制方式
7寸触摸屏智能调节
时间设定
0-99999
清洗功能
一键清洗
数据导出
无
程序控制
5段可编程序(时间-流量随意设定值)
压力显示
有（出气压力检测）
气体缓冲罐
有
流量累计
有（累计当前运行总流量）
可选进出气口接头形式
3mm 6mm 1/8mm 1/4mm 双卡套接头
抗电磁干扰
无
外形尺寸
460x210x480
重量
18kg
联系电话：0371-60308298
联系人：李工
qq:760625767

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郑州科探仪器设备有限公司
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