加工定制是	品牌SENTECH仪器（德国）有限公司
型号SI 500	用途III/V半导体和Si加工工艺

sentech仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
si 500是高刻蚀速率、低损伤刻蚀设备，可满足iii/v半导体和si加工工艺领域的的灵活应用。
主要特点:
l 高速率刻蚀
l 低损伤
l 高深宽比刻蚀 
l 高工艺一致性
l 平板三螺旋天线式ptsa等离子源 (planar triple spiral antenna) 
l 远程控制
l 应用领域：iii-v半导体化合物，微光学，微系统
l sentech高级等离子设备操作软件
l 穿墙式安装方式
l 干涉式终点探测和刻蚀深度测量系统
 
系统配置:
l 6" 基底或6" 托架(支持2", 3", 4" 晶圆,小片样品)
l 动态温度控制
l 远程控制
l pc (windows xp)
l sentech高级等离子设备操作软件
特性:
l 全自动/手动过程控制
l recipe控制刻蚀过程
l 智能过程控制，包括跳转、循环调用recipe。
l 多用户权限设置
l 数据资料记录
l lan网络接口
l windows nt 操作软件

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