是否进口否	产地日本
加工定制否	品牌日本APOLLOWAVE
型号α-150

日本阿波罗apollowave 手动探针台 高功率半导体探针台系统α-150
产品简介：高性能日本原装手动探针台，载物台尺寸可选6-8吋
产品特点及详细参数：
探针台主机：α-150  
  1.1 适用：      6英寸及以下晶圆或芯片
   1.2   x轴：     粗调行程：200mm  
           粗调方式：自锁式推拉杆
           微调行程：25mm  
           微调方式：千分尺控制
           控制分辨率：10um  
1.3   y轴：    粗调行程：200mm  
           粗调方式：自锁式推拉杆
           微调行程：25mm  
           微调方式：千分尺控制
           控制分辨率：10um  
1.4   z轴：    移动量：10mm  
           粗调行程：5mm，精度：±10%以内
           微调行程：0.3mm，精度：±20%以内
1.5   θ轴：    移动量：±10°以上
1.6   平行度：  对载物台 30um以内
1.7   尺寸：    600（w）×600（d）×450（h） 不含突出部
1.8   重量：    约60kg  
1.9   真空压    小于-65kpa（用于晶圆吸附）
1.10  压缩空气：0.4-0.5mpa  
1.11  使用环境：温度23℃±5℃，湿度20%-80%（无结霜）

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吴先生
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