出售美国应用材料公司系统pecvd微晶硅太阳能薄膜沉积系统
美国应用材料公司旗下子公司应用薄膜公司2008年生产akt pecvd等离子增强化学镀膜系统型号akt 15k sc pecvd。此系统原是德国malibu太阳能研究实验室用作微晶硅太阳能薄膜应用研究的一套系统。目前此系统存储在本公司欧洲仓库；系统原来很少被使用，状态如新，属目前世界上微晶硅太阳能pecvd薄膜沉积**进系统。
系统能处理五代玻璃尺寸（1100mm x 1300mm），除枪膛外，包括两套thomson公司型号m-100 rapidtek构台，一套美国应用材料公司coolref水冷机，一套日本dainen rga-150安培 13.56 mhz射频电源，akt温度控制器，日本kashiyawa mv-100真空干泵，akt 15k sc 等离子增强化学镀膜发生系统，英国boc爱德华phmb1800真空系统带手提控制，四套英国boc爱德华if1800连网式真空助推系统连泵浦，一套ecosys marathon 8500尾气处理系统。此pecvd微晶硅太阳能薄膜沉积系统带有装载预备真空枪(loadlock),凸面体电极连洒雨式反应头可调节（至500微米精度）和气冷式等离子感受器(susceptor),专业优化为微晶硅太阳能薄膜沉积优化使用。
     akt 15k sc pecvd 微晶硅沉积设备

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深圳市昊光机电科技应用有限公司
李小姐
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