| 是否进口否 | 产地苏州 |
| 加工定制否 | 类型一体式 |
| 适用领域电子行业 | 用途工业用 |
| 槽数8 | 型号AP600 |
| 品牌March | 订货号100 |
| 货号100 | 超声清洗频率13.65Khz |
| 清洗温度25℃ | 工作方式等离子 |
| 外形尺寸60*60*70cm | 功率600w |
| 规格标准 | 是否跨境货源否 |
march ap-600 等离子清洗机
特点和优势
* 触摸屏控制，图形用户界面显示实时工艺信息
* 灵活的电极布局适用于各种不同的零件、元件或载具
* 13.56 mhz 射频发生器带自动调谐网络，提供卓越的工艺重复性。
* 方便的厂务设施连接，用于验证工艺的定期校准需求。
进的、紧凑的桌面结构等离子处理
诺信march的ap-600 等离子清洗机系统是设计用于提供非常均匀的等离子清洁和处理。具有无与伦比的操作简单性、可靠性，以及更低的设备成本。
ap-600是完全自包含的系统，***小化占用桌面的面积。系统机架将等离子腔体、电子控制、13.56 mhz射频发生器、自动调谐网络（仅仅真空泵是独立于系统之外的）都包含在内。设备维护是通过一个互锁门和可拆箱面板来进入设备内部的。
等离子腔体是由高质量的铝和铝固定装置构成的，具有优越的耐用性。等离子腔体支持***多达到7层可以移动电源或接地电极板，以适合广泛的零件、元件、载具、托盘、料盒或各种舟。
等离子清洗，表面活化和附着力改善
ap-600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善附着力等应用。这些能力可以用于半导体制造、微电子封装和组装、医疗设备和生命科学器件的制造等。
ap-600系统能够适合广泛的工艺气体，包括氩气、氧气、氢气、氦气及氟化气体。通过2个标准配置的气体流量控制器控制用于的气体控制。系统还可以选配2路气体，即***多可达4路。
规格:
外形尺寸
w (宽)x d(长) x h(高)–占地面积 569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米
净重 221公斤 (487磅)
设备间隙 右侧、左侧、前面–至少 569毫米，后面–至少254毫米
处理腔体
容量 50.4 升
多钟电极配置 电源-接地、接地-电源、电源-电源
电极插槽数 7
电极间距 25.4毫米
电极
电源电极面积 330(宽) x 330(进深) 毫米
多孔接地电极面积 368(宽) x 330(进深) 毫米
悬浮电极面积 330(宽) x 330(进深) 毫米
射频电源
标配电源 600 w
频率 13.56 mhz
气体控制
流量计 10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(标准毫升每分钟)
mfc***多可配置数量 4
控制和接口
软件控制 plc 控制，触摸屏界面
远程接口 plasmalink, processlink
真空泵
标配油泵 19.5 cfm(立方英尺/分钟)，配有氧油除雾器
选配油泵 19.5 cfm(立方英尺/分钟)，配有防锈油除雾器
选配干泵 22cfm (立方英尺/分钟)
干泵净化氮气用量 2slm (升/分钟)
厂务设施
电源供应 110 vac，20a，50/60hz，单相，12awg，3线；或220 vac, 10a，50/60 hz，单相，12 awg，3线
工艺气体管径及接口类型 外径6.35毫米(0.25英寸)，swagelok管
工艺气体纯度 实验室或电子等级
工艺气体压力 ***小0.69 bar (10 psig)至1.03 bar (15 psig)，可调节
净化气体管径及接口类型 外径6.35 毫米(0.25 英寸)，swagelok管
净化气体纯度 实验室或电子等级n2/cda
净化气体压力 ***小2 bar (30 psig) 至6.9 bar (100 psig)，可调节
气动阀接口及管径 外径6.35 毫米(0.25 英寸)，swagelok管
压缩空气纯度 cda、无油、露点温度 ≤7°c (45°f)，微粒直径 <5 μm
压缩空气压力 ***小3.45 bar (50 psig) 至6.89 bar (100 psig) ，可调节
排气 外径38毫米(1.5 英寸)管道法兰
符合标准
半导体 通过s2/s8 (环境&健康/人体工程学)认证
国际 通过ce认证
辅助设备
气体发生器 氮气氢气(需要其它不可选硬件)
设施 冷却器、洗涤器
深圳市亿阳电子仪器有限公司
钟先生
17817096146
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