是否进口否	产地西安
含量≥99.999％	产品名称六氟化硫
是否危险化学品是	厂家(产地)西安
货号18062105	产品等级电子级
执行质量标准国标	CAS2551-62-4
品牌益蓝气体

六氟化硫 （sf6) 
项目名称
纯度指标（%）
六氟化硫 ≥99.999 ≥99.99
杂质含量（ppm)
空气（air）
≤5 ≤30
水（h2o） ≤1 ≤1
四氟化碳（cf4)
≤4 ≤30
酸度（acidity) ≤0.1 ≤0.1
可水解氟化物（以hf计）
≤0.1 ≤0.2
矿物油（mineral oil） ≤0.5 ≤0.5
包装：采用40l、44l钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到2-10l的气瓶中。
用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，不会产生含碳副产品；变压器中的绝缘介质；金属冶炼中的保护气氛。
理化性质: 六氟化硫（sf6）常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体，分子量146.06，密度6.139g/l，约为空气的5倍。是已知化学安定性的物质之一，其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的电绝缘性和灭弧特性，相同条件下，其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上，灭弧能力为空气的100倍。六氟化硫的熔点为－50.8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体。
注意事项：密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

---

陕西沁蓝化工科技有限公司
徐先生
13609200998
陕西 西安 雁塔区 芙蓉西路以东中海城凯旋门6号楼1002室