型号和类型               qvelf202pt  qv elf202pro
测量范围     x轴        200mm
                   y轴        250mm
                   z轴        100mm
分辨率                      0.1μm
高灵敏度ccd照相机 黑白
精度*          e1xy       (2.0+3l/1000)μm
                  e12         (4.0+5l/1000)μm
最大驱动速度（x/y/z轴） 100mm/s
照明          表面         卤素灯       卤素灯
（prl:可编 轮廓        卤素灯       卤素灯
程环形灯） 环形照明 卤素灯        prl(lde,白色）
放大倍率变化系统      可编程电动转盘
工作台玻璃尺寸         269*311mm
台面最大承重            10kg
重量                          195kg
*测量精度在以下条件定义 可编程电动转盘：1x 物镜设置：2.5x l为任意两点间尺寸（mm）

---

深圳市恒仪仪器机械有限公司
梁宇令
13923485420
5区新鹏苑A座1106