美国temescal公司电子束蒸发镀膜系统
 产品概述
美国temescal公司成立于1952年，是真空电子束蒸镀技术的领导者，提供最先进的精密镀膜系统以及电子枪组件。temescal在精确控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
temescal总部在美国加州，拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门，其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度led、gaas基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械（mems）和声表器件（saw）等领域拥有很高的声誉和众多著名用户。
temescal完美的工艺实现能力包括：高均匀性多层膜系工艺设计，最先进的大功率电子枪及控制电源，无死角操作的双开门设计，洁净无油真空系统，多种精密工件架，全自动薄膜工艺控制系统，等等。
 产品特点
1. 业内独有的真空锁式批量蒸镀系统
2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外
3. 高性能电子枪和控制器
4. 所有oem组件均来自世界一流供应商
5. 丰富的剥离(lift-off)工艺经验
6. 高均匀性和高材料利用率
7. 可靠灵活的全自动控制系统
8. 设备性能完全满足24/7的严格的fab生产要求
9. 专业的工艺研发和技术支持
 技术参数
主要型号
1. fc4400
temescal最大型标准系统，真空锁结构设计，适合150mm以上基片工艺的产能最大化要求
2. fc3800
temescal大型标准系统，真空锁结构设计，适合各种高产能应用要求
3. fc/bcd2800
temescal中型生产设备，真空锁结构可选，适合100mm~150mm晶圆工艺生产
4. fc/bjd2000
temescal小型标准系统，尤其适合小规模生产和研发
设备产能
设备型号
fc/bjd-2000
fc/bcd-2800
fc-3800
fc-4400
2inch 晶圆
42
n/a
n/a
n/a
3inch 晶圆
17
47
n/a
n/a
100mm 晶圆
13
25
53
55
150mm 晶圆
5
12
25
30
200mm 晶圆
n/a
6
14
15
主要应用
• 高亮度 led
• 无线通信 wireless infrastructure
• 微机电 mems
• 表面声波器件 saw

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北京创世杰科技发展有限公司
张先生
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