- 机器类型:
- 纵筋根数:
- 焊机重量:
- 尺寸:
- 环境温度:
- 相对湿度:
- 冲击载荷:
- 极限载荷:
- 挠度≤:
- 表面电阻:
- 适用范围:
- 品牌:海展
- 型号:ST-100
- 产地:
- 加工定制:
- 用途:
- 功率:
- 蒸汽压力(Bar):
- 重量:
- 电压:
- 温控器动作温度:
- 熔断器动作温度:
- 额定储水:
- 蒸汽流量:
- 蒸汽温度:
- 容器容量:
- 水温:
- 移动方式:
- 原理:
- 喷射压力:
- 干冰消耗量:
- 空气流量范围:
- 类型:
- 槽数:
- 工作方式:
- 工作频率:
- 规格:6,8
半自动晶圆减薄贴膜机
(型号st200)
主要规格
1.1晶圆尺寸: 直径:’,6”&8”
厚度:300~750微米
1.2晶圆种类: 硅,砷化镓或其他
单边,双边,v型缺口
1.3膜种类: 蓝膜或者uv膜
宽度: 180~240毫米
长度: 100米
厚度: 0.05~0.2毫米
1.4贴膜原理: 防静电滚轮贴膜
1.5贴膜动作: 膜自动传送并贴覆
1.6切割刀温度: 可控温度在室温~150°c
1.7晶圆台盘: 通用特氟隆涂层接触式台盘
1.8装卸方式: 晶圆手动放置与取出
1.9防静电控制: 防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电膜传送滚轮和防静电贴膜滚轮
贴膜部位配防静电离子风棒装置
1.10切割系统: 独特的可调整的环切刀技术,一圈即可适应各种晶圆外形,
无任何飞边,无需二次修剪,
独特的直切刀技术保证胶膜应用最节省
1.11晶圆定位: 气动销钉接触晶圆的边缘
1.12控制单元: 基于plc控制带5”触摸频
1.13电力供应: 单相交流电220v,10a
1.14压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.15体积: 500毫米(宽)*800毫米(深)*350毫米(高)
1.16净重: 60公斤
2.机器性能:
2.1晶圆收益: >=99.9%
2.2贴膜质量: 没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3 每小时产能: >=80片晶圆
2.4更换产品时间: 分钟
上海海展自动化设备有限公司
李海飞
13764170846
上海松江区姚北路1158号