5、系统配备水流量传感器、水温传感器、气体压力传感器、以及气体流量控制器(mfc)，并从设备和人员安全考虑通过系统软件做相关的interlock。整套系统所需的气体为ar、o2、n2。
6、真空腔体采用sst304材质，为多边型结构，外部焊接冷却水道。腔体内部机械抛光电解抛光。腔体上留有多种标准规格的法兰接口，方便加工和后续的安装。腔体设计后用有限元做强度分析，也对结构以及材料厚度和加强筋位置做优化设计。
7、为了保证系统的良好真空环境，目标系统极限真空为9x10e-5(pa),从atm恢复至9x10e-4(pa)时间为30分钟。内部所有铝材质零部件做阳极氧化处理，所有不锈钢材质零部件表面抛光处理，所有的橡胶类密封圈材质为viton。真空获得系统主泵分子泵，中真空为罗茨泵，前级泵为直联泵机组。
8、加热器设计采取基片内外圈均加热方式，外部加热器共三组分别为heater 01、heater 02、，内圈加热器为圆柱形heater03。加热器对基片最大的加热温度为350℃。每组加热器都有相应的热电偶测量附近的温度，且温度由温控器实现精确控制达到±2℃。
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