半导体制造用真空阀门（slit valve door） 
半导体制造用真空阀门（slit valve door）（台湾产）
本产品是由台湾拥有四十年橡胶产品生产经验，氟化橡胶产品生产经验接近十年，并在日本，韩国，台湾地区的半导体行业得到广泛应用的专业企业生产，全部氟化橡胶产品的生产线设在台湾，拥有100级和10000级的洁净室，拥有高精密度三次元测量仪，专业的电浆杂质测试设备等，保证高给客户提供高品质的产品。且有开发能力，可以根据客户要求提供相应产品。
产品特点：
1，耐高温；
2，抗等离子；
3，低杂质产生，高纯度；
4，使用寿命长；
5，低金属含量；
6，低气体放出；
7，价格低廉。
可以提供产品线：
对应6英寸半导体生产线及8英寸半导体生产线特点
低杂质放出量，
防止金属接触，
长时间使用寿命。
对应12英寸半导体生产线产品特点
安装简单，
价格低廉。
对应材料：fkm，ffkm
产品例
应用领域：ic， lcd， led， oled等半导体行业的生产制造过程中的下列制程
干法蚀刻（dry etching), 湿法蚀刻（wet etching), cvd, pvd, 扩散（diffusion)等。
等离子（电浆）杂质检测设备/压力检测设备
ftir/三次元测量
rie测试设备/pecvd测试设备
keywords：密封圈，全氟密封圈，全氟o型圈，o ring, o ring, o-ring, 密封件， 氟胶圈，氟胶垫片，o型氟胶圈， 氟胶垫片， 氟胶条， 氟胶管， 氟胶平垫圈， 进口o型圈， 方型圈，星型圈， 不规则密封橡胶条， 真空阀门， 真空狭缝门， 真空档板， 铝档板，
airy technology co., ltd.
爱锐精密科技（大连）有限公司
辽icp备12013859号

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