jt-303蚀刻液
【名称】蚀刻液
【性质】产品为红棕色溶液。有刺激性气味，相对密度1.40g/cm3，熔点306℃，分解温度315℃。在透射光线下呈石榴红色,反射光线下呈金属样的绿色。沸点下部分分解。吸湿性强，易溶于水，溶液稀释时，能水解生成棕色絮状氢氧化铁沉淀。
【用途】用于线路板、标牌、不锈钢、铜材行业的蚀刻。
【质量指标】
项目
技术指标
优等品
一等品
合格品
主含量/％
44.0
41.0
38.0
还原物含量/％
0.20
0.30
0.40
不溶物含量/％
0.40
0.50
0.50
游离酸（以hcl计）含量/％
0.25
0.40
0.50
砷（as）含量/%
0.0020
0.0020
0.0020
铅（pb）含量/％
0.0040
0.0040
0.0040
【安全防护】本品不燃，有腐蚀性，刺激皮肤，操作时应戴防护用品。泄露后及时用大量水冲洗。
【包装规格】液体产品用专用灌车或聚乙稀塑料桶包装,每桶净重25kg、35kg。
1) 蚀刻机理： cucl2+4nh3→cu(nh3)4cl2
cu(nh3)4cl2+cu→2cu(nh3)2cl
2) 影响蚀刻速率的因素：蚀刻液中的cu2+浓度、ph值、氯化铵浓度以及蚀刻液的温度对蚀刻速率均有影响。
a、cu2+离子浓度的影响：cu2+是氧化剂，所以cu2+的浓度是影响蚀刻速率的主要因素。研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明：在0~82g/l时，蚀刻时间长；在82~120g/l时，蚀刻速率较低，且溶液控制困难；在135~165g/l时，蚀刻速率高且溶液稳定；在165~225g/l时，溶液不稳定，趋向于产生沉淀。
b、溶液ph值的影响：蚀刻液的ph值应保持在8.0~8.8之间，当ph值降到8.0以下时，一方面对金属抗蚀层不利；另一方面，蚀刻液中的铜不能被完全络合成铜氨络离子，溶液要出现沉淀，并在槽底形成泥状沉淀，这些泥状沉淀能在加热器上结成硬皮，可能损坏加热器，还会堵塞泵和喷嘴，给蚀刻造成困难。如果溶液ph值过高，蚀刻液中氨过饱和，游离氨释放到大气中，导致环境污染；同时，溶液的ph值增大也会增大侧蚀的程度，从而影响蚀刻的精度。
c、氯化铵含量的影响：通过蚀刻再生的化学反应可以看出：[cu(nh3)2]+的再生需要有过量的nh3和nh4cl存在，如果溶液中缺乏nh4cl，大量的[cu(nh3)2]+得不到再生，蚀刻速率就会降低，以致失去蚀刻能力。所以，氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的进行，要不断补加氯化铵。
d、温度的影响：蚀刻速率与温度有很大关系，蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃，蚀刻速率很慢，而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量，影响蚀刻质量；温度高于60℃，蚀刻速率明显增大，但nh3的挥发量也大大增加，导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。1) 蚀刻机理： fecl3+cu→fecl2+cucl
fecl3+cucl→fecl2+cucl2
cucl2+cu→2 cucl
2) 影响蚀刻速率的因素：
a、fe3+浓度的影响：fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中fe3+浓度逐渐增加，对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时，由于溶液粘度增加，蚀刻速率反而有所降低。
b、蚀刻液温度的影响：蚀刻液温度越高，蚀刻速率越快，温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则，一般在40~50℃为宜。
c、盐酸添加量的影响：在蚀刻液中加入盐酸，可以抑制fecl3水解，并可提高蚀刻速率，尤其是当溶铜量达到37.4g/l后，盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当，酸度太高，会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。
d、蚀刻液的搅拌：静止蚀刻的效率和质量都是很差的，原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成，而使溶液呈暗绿色，这些沉淀会影响进一步的蚀刻。

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王惠惠
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