是否进口否	产地西安
含量≥99.999％	产品名称三氟甲烷
是否危险化学品是	厂家(产地)益蓝气体
货号18062106	产品等级电子级
执行质量标准半导体工业用气标准	CAS67-66-3
品牌益蓝气体

三氟甲烷 （chf3) 
项目名称
纯度指标（%）
三氟甲烷 ≥99.999
≥99.9
杂质含量（ppm)
水（h2o）
≤3 ≤10
氧气（o2） ≤2
-
氮气（n2）
≤5 -
二氧化碳（h2sif6) ≤3
≤100
酸度（acidity)
≤0.1
≤1
包装：采用40l、47l钢瓶充装，也可根据客户需要分装到8l的气瓶中。
用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料。
理化性质: 是一种无色、微味，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲烷具有窒息麻醉作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻伤。
注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

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陕西沁蓝化工科技有限公司
徐先生
13609200998
陕西 西安 雁塔区 芙蓉西路以东中海城凯旋门6号楼1002室