LPCVD LPCVD+MSW LPCVD(低压力化学气相沉积系统）
2021-5-28 20:22:22发布14次查看
lpcvd system(低压力化学气相沉积系统)。设备主要部件全部选用国际主流知名品牌，适用于ic芯片制造、可控硅芯片制造、二三极管芯片制造、整流桥芯片制造、太阳能电池芯片制造等各种芯片造行业。涵盖工艺包括：lto（二氧化硅）、psg（磷硅玻璃）、sipos（半绝缘多晶硅）poly（多晶硅）、si3n4（氮化硅）、teos等。设备成熟稳定安全可靠，可配套提供相应工艺技术支持。为了更好的服务客户,公司同时经营气源柜、真空泵维护保养mfc(质量流量计）以及mfc的校正、vcr垫片以及各类接头手动调节阀、气动阀、mks压力传感器、svg系列等设备的配件：并承接特气管路铺设以及二手设备（thermco、bruce、tel、mrl、tempress、syg系列）翻新改造等业务。
上海微世半导体有限公司
李燕
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