类型 白光干涉仪 品种 其他干涉仪
测量范围 150mm×100mm 测量分辨率 0.1nm
最近工作距离 80mm（mm） 用途 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微与干涉仪，不需要复杂的光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度
 白光干涉仪白光干涉仪的检测应用结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪，不需要复杂的光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400μm之微三维量测，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：·晶圆（wafer）·光盘/硬盘（dvd disk/haed disk）·微机电组件（memscomponents）·平面液晶显示器（lcd）·高密度线路印刷电路板（hdi ）·封装（icpackage）·以及其他材料分析与组件微表面研究 高速精密的干涉条纹解析软件（imgscan）·系统硬件搭配imgscan前处理软件自动解析白光干涉条纹。·垂直高度分辨率可达0.1nm。·高速的分析算法则，让您不在苦候量测结果。·垂直扫描范围的设定轻松又容易。·10×，20×与50×倍率的物镜可供选择。·平台x、y、z位置数显式显示，使检测标的寻找快速又便利。·具有手动/自动光强度调整功能以取得*的干涉条纹对比。·具有高精度的pvsi与高速的vsi扫描量测模式供7选择。·具有专利的解析算法则，可处理半透明物体的3d形貌。·具有自动补点功能。·可自行设定扫描方向。 专业级的3d图形处理与分析软件（posttopo）·提供多功能又具亲和接口的3d图形处理与分析。·提供自动表面平整化处理功能。·提供阶高标准片的软件自校功能。·深度/高度分析功能，提供线型分析与区域分析等两种方式。·线型分析方式提供直接追溯iso定义的表面粗糙度（roughness）与起伏度（waviness）的量测分析。可提供多达17种的iso量测参数与4种额外量测数据。·区域分析方式提供图形分析与统计分析。具有平滑化、锐化与数字滤波等多种二维快速傅利叶转换（fft）处理功能。·量测分析结果以bmp等多种图形档案格式输出或是以excel文本文件格式输出。   机台规格：型号swim1510ms系统配备显微镜、扫描控制器、移动平台、取像单元、个人计算机显微镜单眼显微镜（标准）干涉物镜（选配）放大率视野（mm）光学分辨率（μm）10×0.51.1220×0.250.8450×0.10.61影像缩放1.0×（标准）0.5×（选配）垂直扫描控制器扫描范围100μm（400μm，选配）扫描分辨率0.1nm扫描模式自动光强度调整自动/手动扫描速度12μm/s（最快）样品移动平台x-y平面移动平台150mm×100mm，手动（标准配件）z轴移动平台80mm，手动（标准配件）位置数字显示单元三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1μm）偏移调整工作台手动取像单元影像面型ccd（标准配置）传感器分辨率640×480像素（标准配件）计算机配备pentium-computer，17″lcdmonitor，120gb以上硬盘机分析软件ms-windows兼容的数据攫取与分析软件，包含iso粗糙度/阶高分析，快速傅利叶转换和滤波，多样的2d和3d观测视角图，外形分析，图像缩放，标准影像档案格式转换等等。阶高标准片（选配）50nm、170nm、230nm、470nm、1800nm
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