韩国vps p系列干式螺杆真空泵
*的极限压力完全无油无水
  干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线，排气温度低，工艺稳定，适用于各种领域的真空工艺，也维持了*的真空效率和耐用性。
  介质不经过油和水，用可变压缩方式操作，水蒸气和液态混合工艺，非常适合干燥、溶剂回收、化工、制药、塑料等各种真空工艺。
vps干式螺杆真空泵特征
1) 工作腔内无水无油，通过转子转动产生清洁真空。
2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。
3) 通过特殊涂层处理，可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。
4) 工作方式不使用油或水，大幅降低操作成本。
5) 密封方式为机械或双唇密封。
6) 简便的设计易于设备维护。
7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触，使用寿命长。
8) 气体通过泵体可迅速排出。
9) 螺杆转子具有较高的容积效率。
10) 较低的转速可降低振动及噪音。
干式螺杆泵的应用范围：
  在半导体合成及液晶生产上的应用，主要有半导体等离子增强气相沉淀（pecvd）和反映离子刻蚀（rie）工艺，液晶生产蚀刻制程和生产tft荧幕电浆（plasma）的cvd制程中。此工艺要求返流为0，以保护工件免受污染。
  在石油化工中，主要是抽取可凝性气体，或有毒气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
  制药行业，用于药物的真空干燥，药物中间体回收，回收气体消毒剂，为人造器官提供清洁无菌条件等。
  化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工艺
  工业排气；集中式真空处理系统
  挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
  混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染，及喷射器中的阻塞物。
  涉及无忧污水真空处理的所有应用
  食品行业用于香料，香精浓度，食品包装等。
韩国vps中型干式螺杆真空泵参数表
型 号
vps-p150
vps-p300
vps-p400
vps-p800
抽 速
50/60hz
m3/h
120/150
250/300
330/400
680/800
cfm
70.6/88.3
147.1/176.5
194.2/235.4
400.2/470.8
极限
压力
(torr)
0.3/0.5
0.2/0.1
0.04/0.03
0.03/0.02
(pa)
40/20
26.7/13.3
5.3/4.0
4.0/2.7
电机功率(kw,50/60hz)
5.5
7.5/11
11/15
18.5/22
泵转速(rpm) 50/60hz
2900/3450
2900/3450
2900/3450
2900/3450
口径
入口(a)
40
50
65
100
出口(b)
40
40
50
65
齿轮油(l)
1.3
1.6
2
4
冷却水(l/min)
3
5
7
10
重量(kg,泵体)
220
320
410
630

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