标题：keyfactor晶圆探针台 i-v/c-v, rf测试测量探针台  
产品描述：
模块化系统设计，可配置多种测试测量方案。常用于基础i-v／c-v测量，脉冲i-v测量，高精度i-v／c-v测量，rf、mmw（微波）测试测量。
 
以下为部分参数，详细参数及方案请联系：sales@keyfactorsystems.com/18925408866-许先生「键德测试测量系统（东莞）有限公司」
 
chuck
 
diameter
2" to 6"
material
stainless steel
plating
n.a.
planarity
<5µm@ambient temperature
 
measurement accuracy (electrical)
 
part #
range
accuracy
basici-v
1μa
rdg+10na
coax
1na
rdg+10pa
coax-piv
1na
rdg+10pa
triax
10pa
rdg+100fa
triax-femtoprobe
1～10pa
rdg+10fa
 
 
 

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键德测试测量系统（东莞）有限公司
许先生
18925408866
东莞松山湖工业南路6号松湖华科1栋501室