臭氧氧化法主要用于：①水的消毒：臭氧是一种广谱速效杀菌剂，对各种致病菌及抵抗力较强的芽孢、病毒等都有比氯更好的杀灭效果臭氧化法造纸污水处理，水经过臭氧消毒后臭氧化法石化污水处理，水的浊度、色度等物理、化学性状都有明显改善.化学需氧量(cod)一般能减少50～70%。用臭氧氧化处理法还可以去除苯并(a)芘等致癌物质。
臭氧发生器在水处理的优点：1.臭氧是优良的氧化剂，可以杀灭抗氯性强的病毒和芽孢;2.臭氧消毒受污水ph值及温度影响较小;3.臭氧可以去除污水中的色、嗅、味和酚氯等污染物，增加水中的溶解氧，改善水质;4.臭氧可以分解难生物降解的有机物和三致物质，提高污水的可生化性;5.臭氧在水中易分解，不会因残留造成二次污染。
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