技术参数型号 spectra bench optical spectra floor optical
量测行程 300x150x75mm 300x150x75mm
外形尺寸 950x1075x1025mm 950x1075x1775mm
重量 114kg 146kg
承载重量 9kg
平台材质 钢构
传动方式 x&y steel balls and rods
xy 精度 ux=2.5+l/25μm ，uy=2.5+l/15μm
z 精度 u=2.5 μm
xy 重现性 12.5μm
z 重现性 7.5μm
光学尺分辨率 2.0 μm
影像 14’’ erected, bright and sharp
光源 轮廓光,表面光
镜头/放大倍率 10x, 20x, 31 1/4x, 40x, 50x, 100x
量测系统 q16 metrology box 或 optional inspec software
工作环境 20℃±2°, 30-80% 湿度
电源系统 110 或 220 vac

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周
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