仪器特点 ◆ 超精密全自动测量，四轴cnc控制； 
◆ 精密花岗岩机台，精度高、稳定性好； 
◆ 三轴thk精密直线导轨、精密传动系统； 
◆ renishaw开放式光栅尺，精度高、稳定性好； 
◆ tztek自动变倍光学镜头，可实现自动变倍测量； 
◆ 程控式6环8区环形表面光源，led轮廓光源，同轴光源； 
◆ 自动对焦测高，可加装接触式测头； 
◆ 提供多种行程规格配置，如222、322、432等。。
技术参数
型号
vmu222
vmu322
vmu432
行程(mm)*
200×200×200
300×200×200
400×300×200
外型尺寸(mm)
1040×740×1620
1040×740×1620
1240×800×1620
重量(kg)
240
250
310
承重(kg)
25
25
25
测量精度
xy轴**
e2=(1.5+l/300)μm
e2=(1.9+l/300)μm
z轴***
e1=(5.0+l/200)μm
速度
xy轴
500mm/s
z轴
100mm/s
光栅尺
0.1μm renishaw光栅尺
导轨
thk
图像传感器
高清晰彩色工业摄像机
光源
轮廓光
led冷光源，256级亮度可调
可升降表面光
3内环3外环8区led冷光源，各段独立操作，256级亮度可调，外3环可程控升降，提供45°到75°多种落射角度照明
同轴光
led冷光源，256级亮度可调
光学镜头
12.5:1连续变倍
放大倍率****
光学放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230×
软件
vispec测量软件（vmu版）
运动控制
自主专利的cnc直流伺服系统
保修期
1年
工作环境
温度20℃±2℃，湿度30～80%
振动<0.002g，低于15hz
电源
200~240vac ，50/60hz，单相，700w
* z轴标配有效测量行程135mm，可加高至300mm。
** l表示测量长度，以毫米为单位。
*** z轴的机械精度，聚焦的精度与工件表面有很大关系。  
**** 放大倍率为近似值，具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关；客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜，实现影像放大倍率9～115×或36～460×。
 

---

苏州天准科技股份有限公司
夏先生
18913193173
苏州新区科技城培源路5号