| 加工定制是 | 品牌德国SENTECH |
| 型号PECVD:SI500 PPD | 用途薄膜沉积 |
sentech仪器（德国）有限公司是国际主流的半导体设备商，研发、制造和销售先进的薄膜测量仪器（反射仪、椭偏仪、光谱椭偏仪）和等离子工艺设备（等离子刻蚀机、等离子沉积系统、用户定制系统）。
si 500 ppd是电容平板式pecvd等离子沉积设备，主要用于sio2，sioxny，siny，a-si，sic薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。
系统配置：
? 驱动电极集成了淋浴头和暗区屏蔽
? 高速率真空泵系统，独立气流压强控制
? 上电极和下电极分别加热，具备高的长期可靠性和工艺重复性
? 基底温度20?c至350?c
? 远程控制(rfc)
? sentech高级等离子设备操作软件
北京亚科晨旭科技有限公司
侯先生
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