- 是否提供加工定制：是
- 输入电压：
- 空耗功率：
- 恒定温度：
- 产品认证：CCC
- 最大装载量：
- 加热功率：
- 品牌：福润德
- 型号：FRD-013
- 相数：3
- 电源频率：
- 额定温度：
- 炉膛尺寸：
- 适用范围：
- 额定电压：
- 外形尺寸：
- 重量：
- 工作室尺寸：
- 最大电压：220
- 主要用途：扩散、氧化
四管扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。
炉管配置：1-4管/台晶圆规格：4、5、6、8
炉体控制段：3/5段
恒温区长：760（800）mm /1000mm
反应室配置：石英管/碳化硅管
加热体材料：kanthal apm/a-1或相当
温度均匀性：800-1300℃ /±0.5℃
300-900℃ /±1℃
工艺温度范围：300-1300℃
最大可控升温速度：15-20℃/min
最大降温速度：（1250～1000℃ ) 8℃/min
控制系统：工业计算机(10-15液晶屏)
送片系统：sic悬臂/双石英杆
净化等级：100级或更好
净化风流：水平或垂直
送片速度：100mm-500mm/min
气源气路：ep级316l管道1/4或3/8
阀门组件：swagelok或相当
管道焊接：自动轨道焊接
青岛福润德微电子设备有限公司
颜廷福
18266617134
城阳区北万工业园