| 加工定制是 | 品牌住友 |
| 型号SWA-20US | 用途碳化硅激光退火 |
| 别名激光退火炉 | 规格频率：20kHz |
| 输出功率10W |
激光器：uv激光器波长355nm
频率：20khz
脉冲持续时间：约40ns
光线尺寸：约100um
输出功率：10w
光学：top-hat 光学，具有能量调节功能
激光扫描方法：加尔诺瓦扫描仪
内室：o2密度可控
平台：xyz三轴平台
转移单元：4轴圆柱状并列样式，双机械手臂
监测系统：晶片厚度测量、激光器功率测量、退火点测量、光线剖面测量
上海瞻驰光电科技有限公司
王女士
15300099033
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