韩国mat尾气处理设备（scrubber）适用于：非晶硅薄膜太阳能电池、液晶显示器等pecvd制程、半导体、微电子等行业中蚀刻制程与化学气相沉积制程中产生的废气.         
 处理的气体包括：sih4、sih2cl2、ph3、b2h6、teos、h2、co、nf3、sf6、c2f6、wf6、nh3、n2o 等。
主要有以下优点：
1. 整机设计美观, 安全标准。
2．拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3．操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用，性价比高
4．燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
system type
   heat-wet
features
  * easy maintenance : long pm term
  * vertical structure : strong for powder clogging
  * reduced footprint
  * high performance
capacity & dimensions
   500slm
  700mm(w)x850mm(d)x1610mm(h)
utility
   power(220v), cda, n2, water, drain, exhaust
型号
mat-507bwa
品牌
韩国mat
处理气量
500slm
规格
700*850*1610
型号
mat-507bwa
品牌
韩国mat
处理气量
500slm
规格
700*850*1610