vega 3 lmu/lmh是tescan推出的扫描电子显微镜系列,以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的系列产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计.目前，已有多家知名大学、研究所及企业购买了tescan电子显微镜，如清华大学、复旦大学、天津大学、南开大学、华中科技大学、哈工大、西工大、重庆大学、上海交通大学、上海理工大学、中科院上海技术物理所、中科院上海生命科学院、中科院青岛海洋所、中石油、公安系统（6台）、上海电气、华为技术、大众汽车、现代汽车、联合汽车电子、国家机动车零配件质量监督检验中心、苏州热工研究院等等，与大学和科研机构的紧密合作也是另一优势所在。
1.独有的四透镜大视野光学（wide field optics™）设计，该设计提供了多种工作模式和显示模式，体现了tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。
2.成像速度快。 3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（edx），波谱仪（wdx），背散射电子衍射仪（ebsd）。 7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 9.网络操作和内置的远程监控/诊断是tescan的标准配备。 10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正 (auto gun alignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小，电子束探测电流自动跟随改变,改变放大倍率，自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差,look up table自动调整等。 11.完全自动的软件安装. 12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析; i.影像显示尺寸 1)实时图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3种方式。 2)储存图像显示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280,1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9种方式。 3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。 ii.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。 iii.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。 iv.动态聚焦,点&线扫描 v. 图像处理(image processing)：提供15种图像处理功能。直方图﹐锐化﹐等效化﹐ 对比微分化﹐中值滤波﹐去噪声化﹐自动对比调整﹐阴影补正﹐结构化﹐反相化﹐灰阶化﹐真实色彩化﹐图像旋转90度﹐图像翻转﹐傅立叶转换。 vi.量测功能：提供13种图像量测的功能 1).可分析彩色影像的rgb值。 2).可量测线的长度。 3).可量测任意两点的距离。 4).可量测不规则形状的长度。 5).可量测任意夹角。 6).可量测不规则形状的面积和周长。 7).可量测圆形的直径和周长。 8).可量测任意三点所行成的圆形的直径和周长。 9).可量测椭圆形的长、短轴长度和周长。 10).可量测正方形面积。 11).可量测长方形长和宽。 12).可量测四边形长、宽和周长。 13).可精确量测任意两点的距离(任何放大倍率下﹐误差小于3%)。 14).可划指示箭头。 15).可写说明文字。 16).可在图像上标示micro bar。 17).字型、字体大小、颜色可任意设定。 18).可列表作统计处理,并可以储存。 19).实时或储存的图像均可处理。 vii.图像存盘： 1).浏览已储存图像的相本。 2).找寻已储存图像的数据库系统。 3).报告产生及从程序中直接打印。 4).实时或储存的图像均可处理。 13.卓越的分析品质; 1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 2)3d扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。 3)硬度分析：以vickers式硬度或brinell式硬度标准来测量分析样品。 4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。 7)公差可选配软件 8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。 9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。 10)自动连续截图 11)样品观测 12)鼠标连接：安装该软件后，可以用sem的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。
技术参数：
1.分辨率:高真空(二次电子3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv (背散射电子): 3.5 nm at 30 kv(lmh型选配，lmu型标配) 低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kv (lmu型选配) 2.放大倍数:2.5 to 1000000× 3.真空系统:高真空
*u型为高低可变真空，h型为高真空电镜
主要特点：
国内唯一一家使用中文操作界面的电镜厂商 1.电磁式电子枪自动对中; 2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式,视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置; 3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 5.采用气垫减震系统 6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 7.11个外扩展接口. 8.可对sem进行远程控制

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