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干冰微粒喷射清洗时一种以干冰作为清洗媒介的清洗技术。该方法克服了传统清洗方法的不足,不使用水喝化学药品,具有高效、环保、不会损害被清洁表面等特点。干冰微粒软而小,特别适用于外力敏感又需要精密维护的微电子、光电、半导体、真空等元件的清洗。 利用高速气流的冲击力和干冰升华产生的热力冲击,以及液态二氧化碳对有机物的溶解能力,使被清洗表面的固体颗粒、油污、水污及其它杂质被迅速剥离清除,而不会对被清洁表面产生损害。干冰和液态二氧化碳升华后不会在表面上残留任何清洗介质。
干冰微粒喷射清洗法既可以除去颗粒污垢,又能除去矿物油污、手指印、面脂、润滑油等薄膜污垢。
干冰微粒喷射法清洗固体颗粒时,表现出去除效果与表面污垢的颗粒大小无关的特点,可以去除各种尺寸的颗粒污垢(最小可被去除的颗粒污垢的粒径在0.03µm)所以用干冰微粒喷射法更适合于在精密工业清洗中去除微小的固体污垢粒子。
近年来,国内外关于干冰微粒喷射法的研究报告不断涌现,干冰微粒喷射清洗法的应用领域也不断扩展,尤其在清洗半导体元件、真空设备零件、红外光学望远镜和ito玻璃基板表面等方面取得了显著的成果。
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重庆金宏海格气体有限公司
张丽娟
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