规格及型号(配置)
     ld-6c20（a.b）
镀膜室内壁尺寸
¢800-900×h800-900(mm)
有效镀膜尺寸
¢700-800×h600-700(mm)
工件旋转挂具
公转+公自转
旋转挂具布置方式
真空室上端向下安装
挂杆数量
公转4根+公自转6-8根
旋转速度
0-5转/分钟（公转）调速器调节
可镀工件最大尺寸
¢150-170×h550-650(mm)自转
用途
装饰镀膜
被镀工件种类
金属玻璃陶瓷塑料等
可镀膜层种类
tin crn tic ticn金属等等
真空泵
2x-70粗抽泵+2x-30维持泵
罗茨泵
zjp-150
扩散泵
kt-400
极限真空度
优于6×10¯4 pa
工作真空度
6.67×10¯3 pa
排气速率
<20分钟（从大气-工作真空）
压升率（漏率）        
≤0.35pa/h
真空室材质
304不锈钢
阴极电弧离子源
6个电动引弧 间接冷却
靶材尺寸
¢100×40(mm)
磁控溅射靶
一对（两个） 直接冷却
溅射靶尺寸
w100-150×h600-700(mm)
偏压电源
20kw 20khz逆变电源
磁控溅射电源
25kw 40khz 中频脉冲电源
电弧电源
6台 0-200a电流可调
真空室加热功率
15-18kw温度pid调节
控制模式
自动（a）手动（b）
自动控制配置
工控机+plc+lcd+打印机

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