加工定制否	品牌Aerotech
型号ANT	产品名称纳米级定位平台
适用范围纳米级定位平台	用途纳米级定位平台

aerotech 纳米级定位平台-ant系列
一、ant95-l系列纳米级精密定位平台 
优点： 
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程 
1：高分辨率1nm 
2：重复定位精度±25nm 
3：定位精度 ±250nm 
4：行程25-50mm 
交叉滚柱轴承专利设计 
可以提供x,xy,xyz等多种组合。可以实现1nm的***小步进。 
二、ant130-l系列纳米级精密定位平台 
优点： 
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程35-160mm 
1：高分辨率1nm 
2：重复定位精度±25nm 
3：定位精度 ±250nm 
4：行程35-160mm 
交叉滚柱轴承专利设计 
可以提供x,xy,xyz等多种组合。可以实现1nm的***小步进。 
三、z轴运动平台 
ant95-l-z 与ant130-l-z系列纳米级精密定位平台 
优点： 
非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程25-60mm 
1：高分辨率2nm 
2：重复定位精度±75nm 
3：定位精度 ±300nm 
4：行程25-60mm 
交叉滚柱轴承专利设计 
可以实现2nm的***小步进。 
四、纳米垂直升降台 
垂直升降，非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，行程3-5mm 
1：高分辨率1nm 
2：重复定位精度±75nm 
3：定位精度 ±200nm 
4：行程3-5mm 
交叉滚柱轴承专利设计 
可以实现1nm的***小步进。 
更多aerotech纳米定位平台请联系销售工程师： 张巨鹏  18518556588 18132051229 

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