直接热式质量流量计 直接热式质量流量计控制器 ax10fc直接热式mfc/mfm采用热式测量原理,直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件,并采用哈氏合金传感器,v10fc可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用,ax10fc也同样适用。ax10fc直接热式mfc/mfm与其它差压原理的v10fc一样,具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。 产品应用 产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析,科研院所实验设备。 产品特点 ● 直接热式原理,无层流元件 ● 无压损,抗结晶,抗腐蚀 ● 适用于各种低压和高压管道 ● 精确测量和控制气体的质量流量 ● 预热时间短,零漂小,可靠性高 ●多种气体可选,也可自行输入 技术参数 [table] [tr] [td] 技术指标 [/td] [td] ax10fc-rc质量流量控制器 [/td] [td] ax10fc-rm质量流量控制器 [/td] [/tr] [tr] [td] 量程范围 [/td] [td] 小量程:5sccm～10slm 中量程:10slm～30slm 大量程:30slm～2000slm [/td] [/tr][tr] [td] 控制范围 [/td] [td] 控制器20:1 [/td] [td] 流量计20:1 [/td] [/tr] [tr] [td] 准 确 度 [/td] [td] 流量:±3%f.s 压力:0.5% f.s 温度:±1℃ [/td] [/tr] [tr] [td] 线 性 [/td] [td] ±0.5%f.s [/td] [/tr] [tr] [td] 重复精度 [/td][td] ±0.2%f.s [/td] [/tr] [tr] [td] 响应时间 [/td] [td] 100ms [/td] [td] 10ms [/td] [/tr] [tr] [td] 数 字 量 [/td] [td] rs232/485,modbus协议 [/td] [/tr] [tr] [td] 模 拟 量 [/td] [td] 0～5v、4～20ma、1～5v [/td] [/tr][tr] [td] 供电 [/td] [td] 12v/24v/±15v可选 [/td] [/tr] [tr] [td] 工作温度 [/td] [td] 0～50℃ [/td] [/tr] [tr] [td] 工作压力 [/td] [td] 工作压差:0.03～0.5mpa [/td] [td] 工作压降:

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王凯卓
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