小型真空探针台 真空环境电子测试 电子元器件真空检测台微电测试     
 
     探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本
     该探针台的承片台x/y/z三个方向均可在真空环境下调节，其中x方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
实验腔体
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
内腔体尺寸
φ140x180
加热台材质
304不锈钢
观察窗尺寸
φ75
加热台尺寸
50x50
加热台温度
室温-350℃可调
加热台温控误差
±1℃
真空度
机械泵≤10pa   分子泵≤10-3pa
真空抽气口
kf25
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
进气阀门
高精密针阀
抽气阀门
kf25真空挡板阀
压力表
机械压力表 -0.1-0.15mpa
信号电极
4个
探针数量
4个
探针材质
φ1.5钨针   其他材质可选
探针移动平台
x轴移动行程
30mm    ±15mm
x轴控制精度
≤0.1mm 
y轴移动行程
13mm    ±6.5mm
y轴控制精度
≤0.05mm 
z轴移动行程
13mm   ±6.5mm
z轴控制精度
≤0.05mm 
信号电极
电极芯
1芯
电极引出接头
bnc母头
电极引出线
铜网信号屏蔽线
bnc引出接头
x4
额定电流
≤5a
额定电压
≤220v
电极芯直径
φ1mm
接触电阻
≤5mω
绝缘电阻
≥1000 mω
外壳接地
是
电子显微镜
电子显微镜根据客户需要配置不同倍率 请和客服沟通
 
 
   做气体传感器的客户可以选择本公司的多通道智能气体配比系统
联系电话：0371-60308298
联系人：李工
qq:760625767

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