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扩散炉体

2018-8-21 20:52:31发布55次查看
加工定制品牌晨立扩散炉体
型号CL-炉体用途扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置

一、炉体材料:
★   炉丝:φ8~φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
★   绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。
★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。
★    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。
★    热偶座:进口弹簧卡状固定座。
★    把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有一定机械强度。 
二、炉体参数:
★     工作温度:   ≤1300℃
★      恒温区长度: 500mm-1000mm
★    炉体内径:   φ90~φ360 mm(3~12英寸)
★   规范使用:   寿命可达20个月以上(1200℃)
★   替代进口:   全方位配套
三、应用:
      青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国tempress、thermco,荷兰asm,英国btu等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理3~12英寸硅片的扩散炉、太阳能电池片扩散炉

青岛晨立电子有限公司
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18612520901
山东 青岛 即墨市 青岛市即墨区华山二路618号
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