集成电路材料对集成电路制造业安全可靠发展以及持续技术创新起到至关重要的支撑作用。7月1日,日本经济产业省发布通知将对韩国出口含氟聚酰亚胺、光刻胶、高纯度氢氟酸由普通许可变更为特殊许可,审批部门由经济产业省和贸易办公室变更为安全和贸易审查部,7月4日起实施。
电子级氢氟酸
电子级氢氟酸是氟精细化学品的一种,主要用于去除氧化物,是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一。电子级氢氟酸上游原料为萤石,在经过一系列的加工后形成氢氟酸。
根据中国产业资讯网统计,2011年中国电子级氢氟酸产能为8万吨,到2018年产能上升至24万吨。产能利用率方面,由于受到环保政策影响,自2008年开始,中国氢氟酸产能利用率大幅下滑,2013年、2014年产能利用率不到50%。不过,随着中国半导体产业快速成长,对电子级氢氟酸的需求增加,带动电子级氢氟酸产业快速发展,2017年和2018年氢氟酸产能利用率再回升到60%以上。
电子级氢氟酸,在半导体制造工艺中主要用于清洗、刻蚀等步骤。按照行业分析人士的说法,由于半导体中的金属离子杂质会影响半导体中少子的寿命、表面的导电性、门氧化物的完整性和稳定性等参数,且金属离子杂质在高温下或电场下会向半导体本体扩散或在表面扩大分布,导致半导体性能下降,因此半导体级氢氟酸对其中的金属离子含量有非常严格的要求,且适用的晶圆半径越大,制程越先进,对金属离子含量的要求越高。
电子级氢氟酸主要运用在集成电路领域,日本占据绝对领先地位。高纯度氟化氢即电子级氢氟酸,是氟精细化学品的一种,主要用于去除氧化物,是半导体制造过程中应用最多的电子化学品之一。目前电子级氢氟酸主要运用在集成电路、太阳能光伏和液晶显示屏等领域,其中第一大应用市场是集成电路,约占电子级氢氟酸总消耗量的47.3%;其次是太阳能光伏领域,占比约22.1%。此外在液晶显示器领域,占比约18.3%。目前日本掌控了全球接近90%的高品质电子级氢氟酸产能,占据绝对领先地位。
日韩贸易战是中国的机遇吗
从全球范围来看,半导体级氢氟酸生产技术主要掌握在日本企业手中,韩国半导体所需电子级氢氟酸从日本进口比例不低于50%。此次日本限制对韩出口,韩国企业则需要重新选择新的供应商。
据行业相关人士分析称,这次事件必会激起韩国对核心技术、原材料和关键零部件的开发,但这需要大量时间,中国很可能是韩国寻找替代品的一个重要选项。日韩经济纠纷若扩大,两国电子电器行业都将受损,而中国相关产品产量可能将因此增加2.1%。
虽然我国电子级氢氟酸以中低端为主,但是经过行业内有识之士的不断努力,我国电子级氢氟酸发展迅速,最为受益的当属能提供半导体用电子级氢氟酸的多氟多和滨化股份。但是日本这一制裁无疑刺激了相关企业,除了半导体用电子级氢氟酸,其他电子级氢氟酸也将受益。中国或许能借日韩经贸摩擦获得竞争优势。据分析人士的话称,过去数十年,韩日垄断了全球半导体行业,如今市场出现空白,中国的新兴企业或许会成为新选择。