aera品牌fc-7800cd进口气体质量流量计
响应速度快：小于2秒
无与伦比的可靠性：使用一年以上，零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成：标准接头和尺寸
出众的效果：高品质膜层与蚀刻特性
特性
非金属密封
vcr连接
量程范围从10sccm到150slm
常闭或常开式电磁阀
允许最大清洗流量：高达最大校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
fc-7700系列产品采用技术设计，工作性能远远优于同类质量流量控制器mfc.其先进之处包括：采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外，与采用低速热敏阀的同类产品相比，fc-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀，具有较快的响应速度。提高响应速度之后，避免了出现过冲，达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是最快的。
无与伦比的可靠性:
由高质量的电子组件和采用耐用、最少元器件的设计理念，这使它可以经受强射频场的干扰，满足其它运转要求，并具有同类产品中的零点漂移稳定性--使用超过一年，零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上产品中，仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。
易于集成:
替换其它品牌，即可轻松获得area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势，且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸，可轻松装入现有的系统。
出众的效果：
fc-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性，同时还有高度的可重复性。
型号参数：
aera品牌fc-7800cd进口气体质量流量计
类别
fc-7700、7700c、7700cd、7700cu
fc-7710、7710c、7710cd、7710cu
fc-7720、7720c、7720cd
满量程范围
10sccm到5slm
6到20slm
35到150slm
20到50slm
响应时间
到达设定点±2%所需时间<2秒
到达设定点±2%所需时间<3秒
精度
满量程±1%范围内
满量程±2%范围内
线性度
满量程±0.5%范围内
满量程±0.5%范围内
满量程±1%范围内
满量程±1%范围内
重复精度
满量程±0.2%范围内
漏率
最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控制范围
满量程的5到100%
压差
7至40 psi
10至40 psi(517至2069托)
21至40 psi(1086至2069托)
(362至2069托)
14至40 psi(724至2069托)
正常工作压力
50 psi(2586托)
最大入口压力
最大值150 psi(7740托)
温度范围
5至45℃
注：可根据不同客户的需求，选择全金属密封的fc-7800cd系列，数字型的fc-d770系列，全金属密封及数字型的fc-d980系列。
1% of set point(25%-100% fs);≤±0.25% fs (2%-25% fs); 最大工作压力:70 psig(490 kpag)
热式气体流量流量计是利用传热原理检测流量的仪表，即根据流动中的流体与热源（流体中外加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系进行测量；主要测量气体；热式气体质量流量计主要分两大类，即热分布式和浸入式（或插入式）。
1、热式气体质量流量计的特点
（1）热分布式质量流量计的主要特点：直接测量质量流量无需温压补偿；非接触式，无活动部件，无阻流件，压力损失小，可靠性高；可测量低流速微小气体流量，最低5ml/min（标准状态）；要求气体介质干燥洁净，不含水分、油等杂志；分流型可获线性特性，可用于测量大、中气压流量，使用时要保证分流温度；动态响应慢，时间常数5s左右。
（2）浸入式热式质量流量计的主要特点：直接测量质量流量无需温压补偿；无活动部件，可靠性高；适用于大口径、非圆截面管道、现场空间狭窄处测量（插入式）；检测作为带不锈钢外壳的铂电阻传感器，对于其他中的粉尘、固体颗粒、油分、水分不敏感。插入式可以不断流取出维修更换。可用于测量脏污流体测量。

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