semicon china 是中国首屈一指的半导体旗舰展览,每年吸引全球高数量和高质量的观众到场参观,为大家提供了解zui新产品、技术和解决方案的专业平台。
2019 年,飞纳电镜将携台式扫描电镜能谱一体机 phenom prox,在 semicon china 2019 为大家带来扫描电镜在半导体领域的zui新应用。
时间:2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地点:上海新国际博览中心
飞纳电镜展位号:n5 馆 5619
飞纳台式扫描电镜在半导体行业的应用
光镜 + 电镜导航界面 —— 快速寻找 bonding 位置
飞纳电镜彩色光学导航窗口 + 低倍 sem 导航窗口 + 自动马达台,帮助用户一键找到感兴趣位置,永不丢失视野。
优中心样品杯 —— 多角度检测 bonding 质量
飞纳电镜优中心 (eucentric) 样品杯
飞纳台式扫描电镜大样品室卓越版 phenom xl 的优中心样品杯可以通过倾斜、旋转样品,使用户得到更丰富的形貌特征,轻松、安全地从各个角度观察样品:
· 自动保护系统,用户无需担忧碰撞探头
· 腔室 3d 动态显示,实时模拟显示样品与探头的位置关系
· 优中心样品转动,永不丢失视野
飞纳台式扫描电镜能谱一体机 phenom prox
在半导体领域中,扫描电镜可以用来分析材料成型机理,器件失效分析,工业工艺控制等问题,对研究和生产有着至关重要的作用。
飞纳电镜的高性能、高稳定性、操作简单等特性,在半导体领域得到了广泛的应用。
第五代飞纳台式扫描电镜能谱一体机 phenom prox 是集成化成像分析系统,分辨率提升 20%,进一步增加应用范围,更加适用于对电子束敏感的样品。
(来源:复纳科学仪器(上海)有限公司)