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w)和銅(cu)的制程缺陷率降低,并且以实际研磨工艺产品为基准,还可减低钨(w)制程中的碟形缺陷(dishing)和腐蚀缺陷(erosion)沉积的薄膜层研磨更平坦。 研磨垫提供硅钨(w)、层间电介质(ild)和銅(cu)块材料工艺实现较高研磨速率(removerate)的新一代技术。研磨垫采用了独特的聚合体化学。
粘性增强负性光刻胶、高级加工负性光刻胶(增强温度阻抗)、剥离处理用负性光刻胶;粘性增强正性光刻胶;平坦化、保护性、粘性涂层、旋涂玻璃(sog)、旋涂掺杂(sod)以及辅助产品边胶清洗剂、去除slurry清洗剂;光刻胶显影剂、光刻胶去除剂等,封装环氧树脂胶;硅胶’高品质、良好信誉的微/纳米科学研究检测设备及耗材,在纳米科研技术领域拥有多家高水平的用户;公司主要销售具有独特品质的光刻胶及其相关产品。高性能各种用于微纳制作的光刻胶,除了。